Απαιτήσεις μέτρησης
Σάρωση τρισδιάστατης μορφής της επιφάνειας του τσιπ MEMS για να εξαχθεί το προφίλ για να μετρηθεί κάποια διαφορά από τη χάραξη της επιφάνειάς του

Επισκόπηση των κύριων χαρακτηριστικών
Μη επαφή μέτρηση, ολοκληρωμένο σχεδιασμό

2. τρισδιάστατη σάρωση μορφής, πολυλειτουργική επεξεργασία δεδομένων
Ακριβής μέτρηση για διάφορα υλικά

4. Εύκολη χρήση, εύκολη αποσυναρμολόγηση

5. γρήγορη ταχύτητα σάρωσης και υψηλή ακρίβεια τοποθέτησης

6. ±0,5 έως ±1μm επαναληπτική ακρίβεια εγγυημένη

Υψηλή σταθερότητα, ισχυρή αντοχή στις παρεμβολές

Αποτελέσματα μέτρησης
Το ύψος της διάστασης της επιφάνειας είναι περίπου 300 μm

Επίλυση προβλημάτων με τη συσκευή μέτρησης στο παρόν στάδιο

Υπάρχουν ορισμένες απαιτήσεις για το υλικό μέτρησης
2. μέτρηση επαφής, βλάβη στο υλικό μέτρησης
Μικρό εύρος μέτρησης, αβέβαιη θέση, δυσκολία μέτρησης
Αργή ταχύτητα μέτρησης, χαμηλή ακρίβεια και μεγάλο σφάλμα μέτρησης

5. περίπλοκη δομή, υψηλό κόστος