Ο εξοπλισμός επεξεργασίας επιφάνειας πλάσματος χαμηλής θερμοκρασίας αποτελείται από κενό και υψηλής συχνότητας παροχή ενέργειας πλάσματος, σύστημα αντλίας κενού, φουσκωτό σύστημα, αυτόματο σύστημα ελέγχου κ.λπ. Γίνεται. Η βασική αρχή λειτουργίας είναι ότι σε κατάσταση κενού, η δράση του πλάσματος είναι σε θέση να ιονίσει τα αέρια υπό τις μεθόδους ελέγχου και ποιότηταςΧρησιμοποιώντας την αντλία κενού, το στούντιο θα αντλήσει το κενό σε βαθμό κενού 30-40pa, στη συνέχεια, υπό τη δράση της γεννήτριας υψηλής συχνότητας, το αέριο θα ιονιστεί για να σχηματίσει το πλάσμα (τέταρτη κατάσταση της ύλης), το αξιοσημείωτο χαρακτηριστικό του είναι η υψηλή ομοιόμορφη απόρριψη φωτός, ανάλογα με τα διαφορετικά αέρια που εκπέμπουν από το μπλε έως το σκούρο μοβ χρώμα ορατό φως, η θερμοκρασία Αυτά τα εξαιρετικά ενεργά μικροσωματίδια και επεξεργασμένες επιφάνειες έχουν δράση και έχουν υδροφιλία της επιφάνειας, αντοχή στο νερό, χαμηλή τριβή, υψηλό καθαρισμό, ενεργοποίηση, χάραξη και διάφορες τροποποιήσεις επιφάνειας.

Τεχνικές παραμέτρους

1,Μέγεθος εξοπλισμού: 450mm*400mm*240mm

2,Μέγεθος κενού αποθήκευσης: Φ151×300(L)mm （5L）

3,Δομή αποθήκης: Κωλή από ανοξείδωτο χάλυβα, ενσωματωμένο ηλεκτρόδιο σύνδεσης περιεκτικότητας, χωρίς ρύπανση, ενσωματωμένο δίσκο χαραζίου.

4,Γεννήτρια πλάσματοςΡαδιόσυχνότητα, ρυθμιζόμενη ισχύς 0-300W, προστασία πλήρους κυκλώματος, συνεχής μεγάλη εργασία (ψύξη αέρα).

5,Συστήματα ελέγχουPLC οθόνη αφής πλήρως αυτόματο έλεγχο, χρησιμοποιώντας Omron, Schneider και άλλα εισαγόμενα ηλεκτρικά συστατικά στοιχεία μάρκας, υπάρχουν χειροκίνητα και αυτόματα δύο τρόποι ελέγχου, πραγματική οθόνη αφής χρώματος, προγραμματιζόμενος ελεγκτής Siemens (PLC), σύστημα αισθητήρα πίεσης κενού παραγωγής των ΗΠΑ, μπορεί να ρυθμιστεί, τροποποιηθεί, παρακολουθείται η πίεση κενού, ο χρόνος επεξεργασίας, η ισχύς του πλάσματος και άλλες παραμέτρους διαδικασίας, και έχει συναγερμούς βλάβης, αποθήκευση διαδικασίας και άλλες διάφορες λειτουργ Με τη ρύθμιση των διαφόρων παραμέτρων της διαδικασίας σε αυτόματη λειτουργία, μπορείτε να ξεκινήσετε με ένα κλικ και να επαναλάβετε συνεχώς. Η χειροκίνητη λειτουργία χρησιμοποιείται για πειραματικές διαδικασίες καθώς και συντήρηση και επισκευή εξοπλισμού.

Διαδικασία:

1,Διαδικασία επεξεργασίας Φόρτωση έργου→ Αντλία κενού → εισβολή σε αέριο αντίδρασης → επεξεργασία εκφόρτωσης πλάσματος → αέριο ανάκτησης → αφαίρεση του τεμάχιου εργασίας

2,Έλεγχος διαδικασίας:

2.1 Έλεγχος χρόνου επεξεργασίας: 1 δευτερόλεπτο ~ 120 λεπτά συνεχώς ρυθμιζόμενο.

2.2 Πίεση εκφόρτωσης πλάσματος: 30 ~ 50Pa.

2.3 Σειρά ρυθμίσεων ισχύος: 0 ~ 300W συνεχώς ρυθμιζόμενη.

2.4 Ρυθμίσεις ροής: Αέριο 1 (0 ~ 300ml / min) Αέριο 2 (0 ~ 500ml / min).

Λειτουργία λογισμικού PLC (διεπαφή χειρισμού)

Κύρια οθόνη: παρακολούθηση σε πραγματικό χρόνο και εμφάνιση λειτουργικής κατάστασης και δεδομένων, ισχύος τροφοδοσίας πλάσματος, ροή αερίου, διακόπτης βαλβίδων, πίεση κενού, χρόνο λειτουργίας κλπ.

Ρυθμίσεις παραμέτρων: Μπορείτε να ρυθμίσετε και να τροποποιήσετε τις παραμέτρους και τα βήματα της διαδικασίας.

Κατάσταση εργασίας: Μπορείτε να ελέγξετε online τα δεδομένα και την κατάσταση της πίεσης κενού, της ισχύος πλάσματος και άλλα.

Σύνδεσμοι σφαλμάτων: διάφορα είδη ανίχνευσης σφαλμάτων, συναγερμών και προστασίας από κλειδώματα - Ναι.

Εφαρμογή σύνδεσης τσιπ PDMS

PDMS και εφέ σύνδεσης διαφάνειας

Μετά τη σύνδεση διεξάγονται πειράματα αποσπάσης,Το PDMS δεν μπορεί επίσης να διαχωριστεί από το φορέα διαφάνειας μετά το σχίσμα, και η ένταση του ορατού στρώματος δεσμού είναι πολύ υψηλότερη από το ίδιο το PDMS. Η διαδικασία του συστήματος είναι απλή, το ποσοστό τελικής παραγωγής είναι υψηλό, η ταχύτητα σύνδεσης είναι γρήγορη, η αντοχή είναι υψηλή και δεν θα συμβεί διαρροή υγρού.