ΚουστάνΤρεις-στόχο μαγνητρόνο sputters

Μοντέλο:VTC-600-3HD

Επισκόπηση προϊόντος:

VTC-600-3HD τρεις στόχους μαγνητρόνιο σπλαστερ είναιzuiΗ νέα ανάπτυξη του εξοπλισμού επικάλυψης μπορεί να χρησιμοποιηθεί για την προετοιμασία μιας ή πολλαπλών στρωμάτων σιδηροηλεκτρικής ταινίας, ηλεκτρικής αγωγιμότητας ταινίας, ταινίας κράματος, ταινίας ημιαγωγών, κεραμικής ταινίας, ταινίας μέσων, οπτικής ταινίας, ταινίας οξειδίου, σκληρής ταινίας, ταινίας πολυ-τετραφθοροαινελίου κ.λπ. Σε σύγκριση με τον παρόμοιο εξοπλισμό, όχι μόνο εφαρμόζεται ευρέως, αλλά και έχει το πλεονέκτημα του μικρού όγκου για την εύκολη λειτουργία, είναι ένας ιδανικός εξοπλισμός για την προετοιμασία εργαστηριακών ταινιών υλικών, ιδιαίτερα κατάλληλος για εργαστηριακή έρευνα στερεών ηλεκτρολυτών και OLED.

Κύρια χαρακτηριστικά:

• Μπορεί να παρασκευαστεί μια ποικιλία ταινιών, ευρεία εφαρμογή
• Μικρό μέγεθος, εύκολη λειτουργία
• Η αιθουσία κενού, η μηχανή συσκευασίας αντλιών κενού είναι μοναδική σχεδίαση, η τροφοδοσία ελέγχου είναι μοναδική σχεδίαση, η οποία μπορεί να προσαρμοστεί στις πραγματικές ανάγκες των χρηστών.
• Μπορείτε να επιλέξετε την τροφοδοσία ανάλογα με τις πραγματικές ανάγκες του χρήστη, μπορεί να ελέγξετε πολλά όπλα στόχου με μια τροφοδοσία, ή μπορεί να ελέγξετε πολλά όπλα στόχου με μια τροφοδοσία

Μαγνητρόνο Spray Head：

• Το όργανο διαθέτει τρεις κεφαλές σπλαστερίσματος μαγνητρόνων, και όλες με υδροδυψωμένο διάστρωμα.
• Ένα από τα κεφάλια ψεκασμού είναι συνδεδεμένο με την τροφοδοσία ραδιοσυχνότητας, κυρίως ψεκασμός μόνωσης στόχου
• Ένα άλλο κεφάλι ψεκασμού συνδέεται με την παροχή ηλεκτρικής ενέργειας DC, ο κύριος στόχος ηλεκτρικής αγωγιμότητας ψεκασμού
• Απαιτήσεις μεγέθους στόχου: διάμετρος 50mm, πάχος 0.1-5mm (εξαιτίας του διαφορετικού πάχους του υλικού στόχου)
• Το καλώδιο RF μπορεί να παραγγελθεί ξεχωριστά ως εναλλακτικό
• Ο εξοπλισμός περιέχει ένα ψυγείο νερού για την ψύξη της κεφαλής στόχου

Σταθμός δείγματος：

• Μέγεθος: φ140mm (zuiΜεγάλη βάση που μπορεί να τοποθετηθεί 4'
• Ο φορέας δείγματος περιστρέφεται με ταχύτητα: 1 - 20 rpm (ρυθμιζόμενο)
• Σταθμός δείγματοςzuiΥψηλή θερμοκρασία 500°C

Κενό κενό：

• Κενό: φ300 mm × 300 mm H, κατασκευασμένο από ανοξείδωτο χάλυβα
• Παράθυρο παρατήρησης: Φ100 mm
• Το άνοιγμα της κοιλότητας χρησιμοποιεί το άνοιγμα πάνω, καθιστώντας την αλλαγή στόχου πιο εύκολη

Ελεγκτής ροής αερίου：

• Στο εσωτερικό του οργανισμού είναι εγκατεστημένοι 2 μετρητές ροής μάζας, με εύρος μέτρησης: 0-100sccm
• Ρυθμίσεις ροής αερίου λειτουργούν σε οθόνη αφής 6 ιντσών
• Η λειτουργία του συστήματος απαιτεί αέριο Ar και η βαλβίδα μείωσης πίεσης είναι εγκατεστημένη στον κυλίνδρο (δεν περιλαμβάνεται στην συσκευή)

Σύστημα κενού：

• Εξοπλισμένο με σύστημα μοριακής αντλίας GZK-103D (γερμανική κατασκευή)
• Πρότυπο όριο 5E-5mbar 7.4E-6mbar

Μέτρηση πάχους ταινίας：

• Ένας ακριβής μετρητής πάχους ταινίας κουαρτσιού δονήσεων τοποθετείται στο όργανο για την παρακολούθηση του πάχους ταινίας σε πραγματικό χρόνο με ανάλυση 0,10 Å
• Η οθόνη LED εμφανίζει και εισάγει επίσης τα σχετικά δεδομένα για την κατασκευασμένη ταινία

Μέγεθος προϊόντος：

• L1300mm×W660mm H1200mm
• Καθαρό βάρος: 160 kg

ΚουστάνΤρεις-στόχο μαγνητρόνο sputters

Μοντέλο:VTC-600-3HD

Πιστοποίηση ποιότητας:Πιστοποίηση CE

Συμβουλές χρήσης：

• Αυτή η συσκευή είναι συσκευή DIY, οι παραμέτροι αλλάζουν σημαντικά πριν αγοράσετε παρακαλούμε βεβαιωθείτε ότι επικοινωνείτε προσεκτικά με το τηλέφωνο
• Για να επιτευχθεί καλύτερη ποιότητα ταινίας, πρέπει να εισέλθει σε υψηλής καθαρότητας αέριο (συνιστάται > 5N)
• Βεβαιωθείτε ότι η κεφαλή, ο στόχος, η βάση και ο πίνακας δείγματος είναι καθαροί πριν από την επίστρωση
• Για να επιτευχθεί ένας καλός συνδυασμός της ταινίας με το υπόβαθρο, καθαρίστε την επιφάνεια του υπόβαθρου πριν από την ψεκασμό
• Υπερήχων καθαρισμού (λεπτομερείς παραμέτρους κάντε κλικ στην εικόνα παρακάτω): (1) υπερήχων ατόνης (2) υπερήχων ισοπροπανόλης - αφαίρεση του λίπους (3) ξήρανση αζώτου (4) αφαίρεση της υγρασίας σε κενό φούρνο.
• Καθαρισμός με πλάσμα: η επιφάνεια μπορεί να τραχωτοποιηθεί, να ενεργοποιηθεί ο χημικός δεσμός της επιφάνειας και να αφαιρεθεί η επιπλέον ρύπανση.
• Κατασκευή ενός λεπτού στρώματος προφύλαξης (περίπου 5 nm): όπως Gr, Ti, Mo, Ta, μπορεί να εφαρμοστεί για τη βελτίωση της προσκόλλησης των μετάλλων και των κραμάτων.

Προειδοποίηση：

• Σημείωση: Το προϊόν είναι εγκατεστημένο στο εσωτερικό με εξαρτήματα υψηλής τάσης, απαγορεύεται η ιδιωτική αποσυναρμολόγηση, φορτισμένο κινητό σώμα
• Οι βαλβίδες μείωσης της πίεσης πρέπει να εγκατασταθούν σε κυλίνδρους αερίου (δεν περιλαμβάνεται το τυποποιημένο εξοπλισμό), διασφαλίζοντας ότι η πίεση εξόδου του αερίου περιορίζεται σε 0,02 MPaΠαρακάτω για ασφαλή χρήση
• Η κεφαλή ψεκασμού συνδέεται με υψηλή τάση. Για λόγους ασφαλείας, ο χειριστής πρέπει να δειγματοληφθεί και να αντικαταστήσει τον στόχο πριν από το κλείσιμο της συσκευής.